進(jìn)入無(wú)塵車間的有哪些清潔要求?（1）清潔潔凈室內(nèi)的墻時(shí)應(yīng)使用潔凈室無(wú)塵布；（2）用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑；（3）使用已獲批準(zhǔn)的潔凈室去污劑；（4）每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時(shí)清走。（5）每塊地板都要吸塵。每次交接班時(shí)，都應(yīng)在地圖上標(biāo)明工作完成情況，例如在哪結(jié)束從哪開(kāi)始。（6）清潔潔凈室的地面應(yīng)使用拖把。（7）在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有高效過(guò)濾器的真空吸塵器。（8）所有的門(mén)都需要檢查并擦干。（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。（10）架空地板下也要吸塵及擦拭。（11）三個(gè)月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。（12）工作時(shí)一定要記住，永遠(yuǎn)是由上往下擦，從離門(mén)遠(yuǎn)的地方向門(mén)的方向擦。

凈化工程概述復(fù)合式：復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域**籠蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)進(jìn)步至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)用度。此型式需將功課職員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈地道另有二項(xiàng)長(zhǎng)處：A.彈性擴(kuò)充輕易；B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)等閑執(zhí)行。(2)潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)由的自動(dòng)出產(chǎn)線包抄并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化出產(chǎn)線為相宜使用。藥品、食物業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均合用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)進(jìn)步為10~1000級(jí)以上，認(rèn)為出產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。