凈化工程概述復(fù)合式：復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域**籠蓋使?jié)崈舳鹊燃夁M步至10級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)用度。此型式需將功課職員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈地道另有二項長處：A.彈性擴充輕易；B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)等閑執(zhí)行。(2)潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)由的自動出產(chǎn)線包抄并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化出產(chǎn)線為相宜使用。藥品、食物業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均合用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級進步為10~1000級以上，認(rèn)為出產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

①在實施比較好的設(shè)計條件之前，應(yīng)詳細說明ISO擁有的水平。②表面層中的旋風(fēng)類型表示純化室的氣體特性：u=一個-路流；n，非一條路流；M=混合流形式（U和N的混合物）。③平均旋風(fēng)速率通常適用于房間中的單向流。單側(cè)旋風(fēng)速度需要在測量區(qū)域的形狀下加熱的溫度。單側(cè)流速不指濁度的正風(fēng)。④非邊緣流量和混合流量在一小時內(nèi)使用自然通風(fēng)的頻率。使用適用于建筑物高度3.M的無塵房間的系數(shù)排放空氣量建議值。⑤注意嚴(yán)格的密封對策。⑥硒或旋風(fēng)天然屏障適用于合理的污染物分離和自然保護區(qū)。實際上，在此階段，全球所有**的綜合電路制造企業(yè)。生產(chǎn)者根據(jù)產(chǎn)品類型進行處理。選擇了生產(chǎn)過程的技術(shù)。生產(chǎn)線設(shè)備。原材料采購和制造無塵車間的社會經(jīng)驗和經(jīng)濟發(fā)展證實，綜合電路清潔廠（房屋）的過程（房屋）需要空氣清潔。等級。根據(jù)統(tǒng)計數(shù)據(jù)，集成電路制造企業(yè)。制造商在計劃和建造集成電路芯片車間凈化項目時選擇空氣清潔水平。凈化室的木板和空間規(guī)劃?？諝鈨艋O(shè)備。凈化室建筑物和其他技術(shù)規(guī)格。獨特的工程措施。每個都有。不同的。